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ゾルゲル法により作成した高濃度窒素ドープTiO2粉末では、単結晶と同様、可視紫外分光から2.9eV付近に吸収帯を持つこと、ESR測定から窒素のHFSに起因するシグナルが観測されることを見出した。粉末の熱処理により、高窒素ドープ粉末においても、窒素の化学的環境が保たれていることを明らかにした。この粉末のN1sのXPS測定から、酸化、還元熱処理により窒素の原子価が変動することを見出した。
スパッタリングで作成したZrON薄膜は、酸素流量の増加に伴い、ZrNからZr2ON2、Zr8O7N4、ZrO2のように結晶相が変化し、XPS測定でZr周囲の酸素/窒素比を反映したZr3dピークのシフトを観測した。
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