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ダイヤモンドライクカーボン（DLC）薄膜は、高硬度、高耐摩耗性、低摩擦係数、高化学的安定性、高生体親和性などの優れた特徴を有している。本研究では、従来のDLC薄膜に比べて機械的・電気的・光学的特性などが向上するシリコン(Si)および窒素(N)を添加したDLC薄膜の研究開発を行った。また、DLCの特性を更に向上させるための基礎的知見を得るために、構造、化学結合状態と膜特性との相関関係を調べた。その結果、DLC薄膜へのSiおよびNの共添加は機械的・電気的・光学的特性の向上に有効であることを実証した。
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