|
電源からICに流れ込む電源電流でICを検査する検査法は「電流テスト法」と呼ばれている。IC内に断線や短絡故障が発生すると、ICへの検査入力印加後に流れる電源電流値だけでなく、「タイミングウインドウ」と呼ばれるある時間範囲内に電源から供給される電荷量に顕著な影響が現れる。本研究では従来の電流テスト法のように電源電流値で検査するのでなく、タイミングウインドウ内で電源から供給される電荷量による検査を可能にするIC内組み込み型検査回路を開発し、それを用いた検査法とその検査入力生成法の開発を行った。それにより既存の検査法では発見できない断線故障が開発した検査法で発見できることを明らかにした。
|
