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光の回折限界を超えるナノパターニングを、ギャッププラズモンによって実現することを目標とした。ギャッププラズモンを誘起する構造として、金メタ3原子構造を利用した。電子線描画法の描画条件を最適化したところ、ギャップ幅28 nmの金メタ3原子構造配列の作製に成功した。またその光学特性を評価したところ、プラズモン誘起透明化現象と類似する光学特性が観察された。しかし、紫外線硬化樹脂を硬化させる実験では、ナノパターニングの形成は確認できなかった。より強い増強場を形成する構造や照射光強度などについて更なる最適化が必要であることを確認した。実現するにあたって必要な知見も得られており、今後も引き続き検討する。
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