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原子層堆積はウェハ上に薄膜を形成する方法として使われる。これを使ってナノ微粒子に自由に金属酸化物をつけることで、ナノ特有の量子サイズ効果に異種の表面物性をあたえることができ、新機能物質の創生につながる可能性がある。本研究では、室温原子層堆積法でナノサイズのコアシェル微粒子の作製を目指した。その結果、100nmの粒径を持つ金ナノ微粒子上で酸化チタンを室温被覆することに成功し、膜厚も数十nmレベルで調整できる可能性を見出した。さらに、副成果として、ナノ薄膜の酸化チタン薄膜トランジスタが非常に高い紫外感度をもつことを見出した。本ALD技術は新機能ナノ材料開発研究での活用が期待される。
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