流体は微小空間へ閉じ込められることにより通常と異なる物性を示すことが知られている。このような流体の「微小空間効果」を利用したマイクロチャンバデバイスを高圧に加圧できるマイクロチャンバを作製し、CO2を微小空間に閉じ込め、超臨界流体の特異な物性を明らかにした。 圧力を変えたときの熱抵抗変化からあきらかに臨界点と考えられる圧力近傍で熱抵抗の低下が観測された。また、微小空間に閉じ込めることで0.2 [MPa]の臨界圧力のシフトが観測できた。微小空間に閉じ込めた効果によって現れる物性変化が実証できたため,臨界点付近で状態が温度変化に敏感であることに基づいたデバイスへの応用の可能性を示すことができた。
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