| 研究課題/領域番号 |
15K13317
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
前田 悦男 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (60644599)
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| 研究分担者 |
米谷 玲皇 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 講師 (90466780)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | 表面増強ラマン散乱 / ナノマイクロ光デバイス / プラズモニック構造 |
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| 研究実績の概要 |
今年度の目標は集束イオンビーム励起表面反応堆積技術を用いたメタサーフェスの雛形試作および傾斜回転ステージを組込んだスパッタ装置を用いた金のコンフォーマル積層であった。
収束イオンビーム励起表面反応堆積技術を用いて設計したメタサーフェスの雛形を試作した。FIB-CVDを用いることで、nmオーダの構造を比較的簡便に試作することができる。雛形の材料としては、フェナントレンを原料ガスとしたDLC（diamond-like carbon）を用いた。FIB-CVDは所属機関所有の装置を用いて行った。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
昨年度の論文出版ののち、国際会議にて発表している。
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| 今後の研究の推進方策 |
昨年度得られた基板平面内の光束誘導については、さらなる検討が必要であることがわかった。また、試作用機器として集束イオンビーム加工装置だけでなく、ヘリウムイオン顕微鏡を用いることを検討している。
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