2016 年度研究成果報告書

伸縮性フィルム一体型MEMS静電駆動によるプラズモニック可変カラーシート

研究課題

研究課題/領域番号	15K13322
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	ナノマイクロシステム
研究機関	豊橋技術科学大学
研究代表者	高橋一浩豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 (90549346)
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2017-03-31
キーワード	表面プラズモン / MEMS / 有機デバイス / 可変フィルタ
研究成果の概要	本研究では透明かつ伸縮性の薄膜上へアルミのサブ波長周期構造を形成し、表面プラズモン共鳴を利用した光の異常透過を利用することにより、高い透過率を持つ可変カラーフィルタを作製した。電圧印加により透過波長を制御することに成功し、さらに金属－誘電体－金属の積層構造を利用して、半値幅100 nm程度の波長選択性をもつカラーフィルタの作製に成功した。
自由記述の分野	マイクロメカトロニクス