2016 年度研究成果報告書

高効率・高出力を両立するAlInN発光デバイスの実現

研究課題

研究課題/領域番号	15K13344
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	結晶工学
研究機関	東北大学
研究代表者	小島一信東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (30534250)
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2017-03-31
キーワード	AlInN / 深紫外光源 / 非極性面
研究成果の概要	有機金属気相成長法によって成長したm面AlInNエピタキシャルナノ構造の構造解析および光物性の評価を行った。AlInNの結晶性は、ハイドライド気相成長法にて作製された低転位密度m面自立GaN基板上にコヒーレントに成長されたことで極めて改善した。AlInN層は1軸ないしは2軸性の異方的な歪を内包していたが、X線回折の半値幅は下地層と同等の低い値を示した。このようなm面AlInNエピタキシャルナノ構造を用いて、深紫外・青・緑色波長領域で動作する、蛍光表示管型の偏光発光素子を作製した。
自由記述の分野	半導体光物性