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2016 年度 研究成果報告書

黒体輻射を利用したCVD成長その場観察法の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 15K13346
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 結晶工学
研究機関東京大学

研究代表者

斉木 幸一朗  東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 教授 (70143394)

連携研究者 小幡 誠司  東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 特任助教 (90616244)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2017-03-31
キーワードグラフェン / 化学気相成長 / 熱放射 / その場観察 / 核形成
研究成果の概要

CVD条件下でのグラフェン成長をリアルタイムで観察する,われわれが開発した熱放射顕微鏡(Rad-OM)を用いて,グラフェンの核形成位置と沿面成長の様子を研究した.基板の処理段階から成長までの全過程を連続観察することによって,Rad-OM像で観察される輝点が核形成点となることを見出した.この輝点は基板に残留した炭素不純物であり,アルゴンイオンの照射により効果的に除去でき,条件の最適化によって非照射の時の核密度600/mm2 を1/mm2以下まで減少することができた.本研究によりグラフェン成長で重要な核形成過程の解明と,大面積単結晶グラフェン成長の指針を得ることができた.

自由記述の分野

表面科学

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公開日: 2018-03-22  

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