2016 年度研究成果報告書

還元反応による酸化制御に基づく酸化物半導体の伝導性制御

研究課題

研究課題/領域番号	15K13350
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	結晶工学
研究機関	京都大学
研究代表者	藤田静雄京都大学, 工学研究科, 教授 (20135536)
連携研究者	金子健太郎京都大学, 工学研究科, 助教 (50643061)
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2017-03-31
キーワード	酸化物半導体 / 伝導性制御 / 酸化還元反応 / 酸化スズ / 酸化ガリウム
研究成果の概要	酸化物半導体のp/n伝導型およびキャリア密度を制御する方法として、酸化物の生成反応と同時に還元反応を誘起する方法を開発した。ミストCVD法での成長時に、原料溶液にアンモニアやグルコース等の還元剤を付加したり、還元性の成長条件をとることで、p型伝導の実現が困難な酸化物半導体へのアクセプタ形成を目指した。この結果、p型酸化スズを制御して成長でき、酸化インジウムや酸化ガリウムにおいてアクセプタの形成を確認し、今後のデバイス化に向けた萌芽となる結果を得た。
自由記述の分野	半導体工学, 結晶工学