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原子間力顕微鏡(AFM: atomic force microscope)の分解能向上のため、電界誘起酸素エッチングもしくは電子ビーム誘起堆積法を応用した、AFMプローブ自己先鋭化プロセスの開発を目指した。
電界誘起酸素エッチングの応用では、ヘリウム・酸素雰囲気で30 kVまでの高電圧の印加でも、先端形状の変化はなかった。また、電子ビーム誘起堆積法の応用では、真空中に有機金属ガスを導入し、電解研磨により先鋭化したタングステンワイヤを対向させ、高電圧印加による電子放出を行うと、カソード側のタングステンワイヤ先端に形状の変化が見られた。これらの結果により、AFMプローブ自己先鋭化の可能性を示した。
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