| 研究課題/領域番号 |
15K13408
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
量子ビーム科学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
志村 考功 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (90252600)
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| 連携研究者 |
渡部 平司 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (90379115)
細井 卓治 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (90452466)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| キーワード | Ｘ線 / イメージング / 超解像 / 画像回復計算 |
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| 研究成果の概要 |
我々は多数の小さなＸ線光源を用いることによって空間分解能とＸ線強度の両立を可能とする超解像透過型Ｘ線撮像法を提案した。この手法では光源の位置情報を用いることにより画像回復計算を行い、単一の光源を用いたときと同等の空間分解能の像を得るものである。埋め込みＸ線ターゲットを用いることによりマルチドット状のＸ線光源を実現し、この手法の有効性を検証した。その結果、６個の直径1 umの光源が配列したターゲットを用いたときに、0.6 umのライン＆スペースのＸ線用チャートを明瞭に解像できることがわかった。
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| 自由記述の分野 |
応用表面科学
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