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2016 年度 研究成果報告書

究極的な高次高分散回折格子の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 15K13470
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 天文学
研究機関国立研究開発法人理化学研究所

研究代表者

海老塚 昇  国立研究開発法人理化学研究所, 光量子工学研究領域, 研究員 (80333300)

研究協力者 島津 武仁  東北大学, 学際科学フロンティア研究所, 教授
魚本 幸  東北大学, 学際科学フロンティア研究所, 研究員
梶原 健  豊田工業大学, ナノテクノロジープラットフォーム, 支援員
奥村 俊雄  豊田工業大学, ナノテクノロジープラットフォーム, 支援員
田中 壱  国立天文台, ハワイ観測所, Sr. Resident Astronomer
服部 堯  国立天文台, ハワイ観測所, Sr. Instrumentation Research Specialist
尾崎 忍  国立天文台, TMT推進室, 特任研究員
桐野 宙治  クリスタル光学, 技術開発部長
岡本 隆之  国立研究開発法人理化学研究所, 石橋極微デバイス工学研究室, 専任研究員
細畠 拓也  国立研究開発法人理化学研究所, 光量子工学研究領域, 研究員
竹田 真宏  国立研究開発法人理化学研究所, 光量子工学研究領域, テクニカルスタッフⅠ
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2017-03-31
キーワードVolume grating / Echelle spectroscopy / 厳密結合波解析(RCWA)
研究成果の概要

Quasi-Bragg (QB) 回折格子として機能する高アスペクト比のVolume binary (VB) 回折格子を、シリコンのサイクルエッチング、酸化膜の形成・除去によって試作した。このシリコンのVB回折格子は可視光においても散乱が少ない極めて滑らかな光学面を持つ。
プロトタイプのReflector facet transmission (RFT) 回折格子を鋭角な頂角の回折格子の金型からレプリカ加工した。試作品の回折効率は45~50%程度であった。
30度傾けて切断したQB回折格子をプリズムおよび表面反射ミラーと貼り合わせてQB immersion 回折格子を試作して機能を検証した。

自由記述の分野

光工学

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公開日: 2018-03-22  

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