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2017 年度 研究成果報告書

ソフトマテリアルを利用した原子層素子の作製と電子物性の制御

研究課題

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研究課題/領域番号 15K13497
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 物性Ⅰ
研究機関横浜国立大学

研究代表者

島津 佳弘  横浜国立大学, 大学院工学研究院, 准教授 (70235612)

連携研究者 鈴木 和也  横浜国立大学, 大学院工学研究院, 教授 (80206466)
白崎 良演  横浜国立大学, 大学院工学研究院, 准教授 (90251751)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワード層状半導体 / 2次元物質 / 電界効果 / 2硫化モリブデン / 遷移金属ダイカルコゲナイド / 電界効果トランジスタ
研究成果の概要

従来のシリコンを材料とする半導体素子には微細化の限界が近づいている。更なる微細デバイスの実現のために、原子レベルに薄い材料(数ナノメートル以下の厚さ)を使った新しい素子の開発が期待されている。そのような薄い材料として、二硫化モリブデン等のいくつかの層状物質を使って素子を作製し、伝導特性を実験的に研究した。素子の作製時にソフトマテリアルであるゲルシートを用いることが有効であることを、多くの物質について実証した。2硫化モリブデンを使った電界効果トランジスタ素子における環境ガスの影響や電極金属の影響等を明らかにした。また、いくつかの新規層状物質を合成し、それらの物質の素子への応用可能性を示した。

自由記述の分野

微小半導体・超伝導デバイスの物理の実験的研究

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公開日: 2019-03-29  

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