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2016 年度 研究成果報告書

真空インターフェースを目指したプラズマウィンドウの基盤技術開発

研究課題

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研究課題/領域番号 15K13610
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 プラズマ科学
研究機関広島大学

研究代表者

難波 愼一  広島大学, 工学研究院, 教授 (00343294)

研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2017-03-31
キーワードプラズマウィンドウ / 高密度プラズマ / 大気圧アーク放電 / プラズマ分光
研究成果の概要

アーク放電を利用したプラズマウィンドウは大きな排気系なしに大気と真空を隔離する革新的インターフェースである.本研究ではカスケード型プラズマをベースとした放電源を製作し,実用的プラズマウィンドウを開発することを目的とした.装置サイズは直径120 mm, 長さ100 mm,重量は15 kg以下である.開発した放電源を用いることで50 A放電にて大気側・真空側圧力比約3桁の圧力勾配を発生させることに成功した.この値は世界最高値であるが,現実的なプラズマウィンドウとして圧力比5桁を指標としているため,さらに一桁高い値が要求される.これには電流を100Aまで増大させることで対応できる.

自由記述の分野

プラズマ工学

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公開日: 2018-03-22  

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