パワー半導体や耐熱セラミックスなどの超高温環境での力学特性解明が急務となっている.一方,現在ナノスケールの力学特性解明に用いられるナノインデンテーション装置の測定温度は数百℃が限界である.本研究では,ナノ多結晶ダイヤモンド圧子を用いて,レーザローカルヒーティング法による1200℃までの超高温ナノインデンテーションを目指して研究を行った.その結果,超硬質材料のナノインデンテーションにおいてナノ多結晶ダイヤモンド圧子が有用であること,レーザによる圧痕周囲のみの加熱のため装置全体の熱変形が小さいことを確認した.
|