次世代精密切削工具の高精度刃先形状定量評価実現を目的として,集光レーザービーム(レーザプローブ)を利用した工具エッジ形状の非接触・高速評価技術の開発を試みた.高精度対物レンズを採用したレーザプローブ光学系を構築してその基礎特性を実験的に評価し,光の回折限界を超える高い測定分解能でのエッジ検出を実現した.また,レーザプローブでシングルポイントダイヤモンド工具刃先輪郭を走査して得られたプローブ出力から,刃先輪郭形状を高精度に評価できることを実験的に明らかにした.さらに,切れ刃稜丸みに沿ったレーザプローブ走査による切れ刃稜丸み径評価について原理検討及び実験的検討を試み,その実現可能性を明らかにした.
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