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シリコンナノ（n-Si）粒子は、超バルク理論効率を実現する量子ドット太陽電池やSi可視光ダイオー、さらにはリチウム（Li）電池の大容量化・長寿命化が期待できる負極活物質など次世代光電子デバイスのキーマテリアルとして注目を集めている。本研究では、廉価なSiバルク材からLi電池負極材用n-Si粒子の低コスト生産に向けて、非平衡高圧水素プラズマを用いてバルクシリコン材料からn-Si粒子の生成を狙った。種々の形態のプラズマ源を開発し、その特性を評価すると共にスリット型プラズマ源を用いて、Li電池に求められる直径50nm以下のn-Si粒子の合成に成功した。
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