| 研究成果の概要 |
熱伝導率を計測するためのサーモリフレクタンス法における解析モデルの高度化を目的に，プラチナ薄膜をRR,FR,RR,FR法で計測し，これらの手法の違いに起因するサーモリフレクタンス信号の差をフォノンの干渉により説明できるモデルを構築した．またPLD法（Pulsed Laser Deposition）にて金属酸化薄膜を作製し，その熱伝導率を計測した．さらにシリコン基板にモリブデン薄膜を成膜し，窒素雰囲気下で摂氏600度の高温に2時間曝し，サーモリフレクタンス計測に与える影響を検討した結果，今回の実験条件ではモリブデン薄膜が大きな影響を受けないことを確認した．
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