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強力超音波トランスデューサの駆動では、正弦波以外の振動波形が必要となる場合がある。例えば、共振駆動型SIDMアクチュエータでは、鋸歯状の振動波形が必須で、共振周波数の変化によって特性低下が生じる。このような問題に対して、本研究では、MOSFETを共振周波数制御用の圧電部分に接続し、共振周波数を動的に制御するシステムを提案した。圧電体は電気的短縮状態と開放状態で圧電効果により機械的スティフネスが変化し、短絡状態で共振周波数が低くなる。そこで、電気的境界条件を間欠的にMOSFETで変化させ、そのデューティー比を制御パラメータとすることで共振周波数を制御することに成功した。
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