圧力変化を圧力伝達器の体積変化に変換する圧力伝達器をメイン流路のそばに配置したマイクロチップ内蔵型のOn-Chip隔壁型圧力センサの概念設計を行うとともに,有限要素シミュレーションにより圧力伝達器の幾何学的パラメータを決定した.さらにOn-Chip隔壁型マイクロ圧力センサ内蔵のマイクロ流路を試作した.メイン流路の圧力が変化した際に圧力伝達器の体積変化をとらえる方法として、カラー着色した流体を用いて,体積変化による流体の色の濃淡変化を実時間高速ビジョンでとらえる方法により,最終的に,既存の圧力センサとも良好な出力相関を得ることができた.さらに6Hzまで良好な動特性が得られることがわかった.
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