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本研究の目的は，近年物理学分野で新たに提唱された光相関イメージング法と高精度エリプソメトリーと組み合わせることで，2次元エリプソメトリーを開発することである．エリプソメーターは，測定原理に高速偏光変調された測定光を用いるためCCDなどの2次元センサを利用することができず膜厚の分布を一度に計測することはできなかった．そこで，光相関イメージング法という手法を用いた点型光検出器を用いたイメージング法に着目した．これは，点計測手法による像再現法であるため既存の2次元イメージングに取って代わる手法として有効である．本課題では，測定原理を新たに構築し原理検証を行った．
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