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2016 年度 研究成果報告書

シリコン系二次元ハニカム結晶の創製と電子物性の解明

研究課題

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研究課題/領域番号 15K13943
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関名古屋大学

研究代表者

大田 晃生  名古屋大学, 工学研究科, 特任助教 (10553620)

研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2017-03-31
キーワード二次元結晶 / 電子状態 / 結晶成長 / IV族半導体 / シリコン / ゲルマニウム
研究成果の概要

SiおよびGeで構成される二次元結晶を主たる対象として、その成長メカニズムを深耕し、新しい二次元結晶成長方法を確立することを目的とした。SiやGeと共晶反応を示すAgを、SiおよびGe基板上にヘテロエピタキシャル成長し、共晶点以下の温度で熱処理することでAg表面にSiやGeを析出できることを明らかにした。また、熱処理温度や時間を調整することで、その析出量を制御可能であることが分かった。その中でも、450度で熱処理したAg/Ge構造では、高分解能の断面TEM分析により、原子レベルで平坦なAg表面上に、二次元結晶に相当する2原子層の周期的なGe原子の配列が認められ、本手法の有効性を示した。

自由記述の分野

半導体工学

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公開日: 2018-03-22  

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