フォトニック結晶共振器による超高感度テラヘルツセンシング

2016 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 15K13952
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 冨士田 誠之 大阪大学, 基礎工学研究科, 准教授 (40432364)
• 連携研究者: 永妻 忠夫 大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 教授 (00452417)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2017-03-31
• キーワード: テラヘルツ / フォトニック結晶 / 共振器 / センシング

研究成果の概要

電波と光波の境界領域の周波数(0.1 THz -10 THz)を有する電磁波，テラヘルツ波を用いた超高感度センシングの実現に向け，フォトニック結晶を用いた微小共振器に着目した．高抵抗シリコンウエハを微細加工することで，0.3 THz帯にて，約10,000という高いQ値の共振器を実現した．波長の1/100以下の薄膜を付加した際に現れる共振スペクトルの変化の検知に成功し，超高感度テラヘルツセンシングの可能性を示すことができた．

自由記述の分野

光電子量子工学