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2017 年度 研究成果報告書

高温・高圧合成によるキャリア制御型半導体ダイヤモンドの確立

研究課題

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研究課題/領域番号 15K13957
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関愛媛大学

研究代表者

石川 史太郎  愛媛大学, 理工学研究科(工学系), 准教授 (60456994)

研究分担者 松下 正史  愛媛大学, 理工学研究科(工学系), 准教授 (90432799)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワードダイヤモンド / 高温・高圧合成 / ドーピング / 電子材料 / イオン注入 / ナノ構造
研究成果の概要

将来の電子材料応用を目指し、高温・高圧合成ナノ多結晶ダイヤモンドの導電性把握と不純物導入に取り組んだ。ナノ多結晶ダイヤモンドの導電性について調査した結果、約400℃以上の高温では半導体領域の導電性を示すことを見出した。また、発光特性についても調べた。出発物質となるグラファイトと共にInPを同時封入してナノ多結晶ダイヤモンドを合成したところ、結晶格子定数の変化が観測され、結晶内部には導入したInとPが観測された。化学気相堆積法で作製された単結晶ダイヤモンド表面にPをイオン注入して高温・高圧印加を行った結果、予期しないピラミッド状の微細構造が形成された。

自由記述の分野

電気・電子材料

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公開日: 2019-03-29  

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