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本研究では塗布形成を用いたカーボンナノチューブ膜を電極としたセンサデバイスとその計測システムの開発と評価を行った。高速なガス置換や湿度等の濃度依存性とミリ秒台の高速な計測を実現するための計測システムの開発を行った。カーボンナノチューブガス透過性電極と含フッ素ポリイミドからなる静電容量式薄膜湿度センサの薄膜化により高感度かつ 10 msec オーダーの超高速応答を実証した。さらに、酸化物と有機半導体のナノハイブリッドガスセンサによりサブppmオーダーのアセトンセンサの開発や有機半導体デバイスの高性能化及び有機半導体中のキャリア輸送の解析を行った。
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