超伝導リング内の磁束量子の検出には,高感度磁気センサである超伝導量子干渉素子が用いられるが,予めこれを集積チップ上に作りこむ必要があり,またその専有面積が大きいという問題があった。本研究では,超小型かつ超高感度電荷センサである単一電子素子を用いた磁束量子検出を試みた。超伝導チップ上に単一磁束量子論理回路を作製し,その上に単一電子素子を作製した。単一磁束量子論理回路の超伝導体にはニオブを,単一電子素子の微小島電極には金ナノ粒子を用いた。これらの個別要素については,外部発表に結び付く結果が得られた。超伝導チップ上に作製した単一電子素子の感度が不十分だったため,単一磁束量子検出には至らなかった。
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