太陽電池用部材としてSiを用いる場合,資源の保有から切削工程を経ない製膜プロセスが必要である.そこで本研究では水,低融点合金,及びシリコンと同等のファセット系凝固するビスマス試料を用いてミスト状の溶融金属試料にして製膜させ,組織を解析した.溶融金属をくみ上げる圧力は,ガス流速が比較的高い場合において噴射ガス速度の二乗や密度に影響したが,流速が低い場合はエントレインメント現象やガスの流れ込み等により吸引力が低くなった.製膜された試料の厚さ及び表面粗さはノズルからの距離及び角度に依存して不均一となった.また試料端部ほど組織は微細化及び均質化し,シリコンも同様の現象が生ずるものと考えられた.
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