2016 年度研究成果報告書

FCC結晶構造に起因する界面強度局所変動の定量評価

研究課題

研究課題/領域番号	15K17936
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	機械材料・材料力学
研究機関	名古屋工業大学
研究代表者	宍戸信之名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 研究員 (00570235)
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2017-03-31
キーワード	信頼性 / 界面強度 / 電子デバイス / ナノテク
研究成果の概要	本研究は、半導体配線のようなマイクロ・ナノスケール構造体の界面破壊現象について、その局所強度を支配する主因子の抽出し、配線構造に内在する界面強度の統計的な分布挙動を明らかにすることを狙った。配線金属単結晶材料ならびに単結晶からなる界面構造体の試験評価によって、界面強度がその結晶方位に強く依存することを明らかにし、多結晶金属配線構造における強度変動を予測可能にする知見を得た。
自由記述の分野	材料力学、材料強度学