2016 年度研究成果報告書

室温から極低温に渡るナノ～マイクロ薄膜の音速・屈折率・膜厚同時計測法の確立

研究課題

研究課題/領域番号	15K17938
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	機械材料・材料力学
研究機関	大阪大学
研究代表者	長久保白大阪大学, 基礎工学研究科, 特任助教(常勤) (70751113)
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2017-03-31
キーワード	音速 / 薄膜 / 温度依存性 / レーザー超音波 / GHz / ナノ薄膜 / 弾性率
研究成果の概要	本研究では携帯電話などの無線通信機器に欠かすことのできない音響フィルタ材料の音速計測に取り組んだ。独自に開発した光学系を用いることによってマイクロオーダーの薄膜中を伝播する超音波を2つの異なる入射角度のもと観測する手法を確立することに成功した。これにより薄膜の音速・屈折率・膜厚を同時に計測する手法を開発した。またAlNやダイヤモンドといった材料の音響特性を室温から極低温域にわたって解明し、デバイス開発や材料科学の発展につながる重要な知見を数多く得た。
自由記述の分野	音響物理学