研究課題
若手研究(B)
本研究では，微細放電加工において工具電極に高抵抗材料を用いることで，単位加工量である放電痕を微小化し，放電加工の微細化の限界を更新することを目的としている．シリコン工具電極の抵抗率が増加するに従い，放電電流ピーク値が減少し，パルス幅が長くなったため，放電痕を小さくすることができた．その結果，シリコンを工具電極として用いることで，銅電極を使用した場合よりも小さい，最小直径0.7マイクロメーターの微細軸加工に成功した．
生産工学・加工学
