本研究においては,超精密加工機や測定器に用いられる静圧軸受の作動流体として,水などの低粘度潤滑流体を用いた際の性能を向上させるため,新規軸受構造として(i)高負荷容量・高剛性を実現するための多孔質ランド部を設けた軸受構造,(ii)高剛性化を実現するための小型・高速流量調整機構,(iii)軸受消費動力低減のための新規構造(リセス内循環路)の3点を提案し,その有用性の検討を行った.本研究の成果により,水などの低粘度流体を用いた静圧軸受の,負荷容量,剛性の向上,消費動力低減が可能であることが,数値計算と実験の両面から明らかとなった.
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