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本研究は，金属薄膜の電気的・熱的特性に及ぼす水素の影響を定量的に明らかにするとともに，その結果に基づいて水素センサの開発の可能性を検討した．精密な暴露実験を行うための水素ガス暴露用真空容器とガス供給システムを設計製作した．白金薄膜で作られたMEMSセンサを用いて，その電気的・熱的特性に及ぼす水素ガスへの暴露時間，ガス圧力，センサ温度等の影響を調べた．その結果，白金薄膜の電気抵抗値は水素暴露により3%低下し，その後ガスを加圧しても1.0MPaまでは一定の値を示した．さらに，電気抵抗値の低下は不可逆であることが示された．
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