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2016 年度 研究成果報告書

短周期超格子による窒化物系擬似InGaN混晶の連続的バンドエンジニアリング

研究課題

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研究課題/領域番号 15K18036
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関名城大学 (2016)
千葉大学 (2015)

研究代表者

今井 大地  名城大学, 理工学部, 助教 (20739057)

研究協力者 吉川 明彦  千葉大学, 産業連携学術研究推進機構スマートグリーンイノベーション研究拠点, 特任教授
草部 一秀  千葉大学, 産業連携学術研究推進機構スマートグリーンイノベーション研究拠点, 特任准教授
王 科  千葉大学, 産業連携学術研究推進機構スマートグリーンイノベーション研究拠点, 特任准教授
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2017-03-31
キーワード1分子層InN / 窒化物半導体 / 短周期超格子
研究成果の概要

1ML-InN/nML-GaN(nは整数)短周期超格子(SPS)による擬似InGaN混晶のバンドエネルギー(Eg)は、InNとGaNの層厚比を実効In組成とみなすため離散的な値に限られる。本研究では、層厚比に加えてディスク状1ML-InNのディスクサイズ=InN面内被覆率も制御することで、擬似InGaN混晶のEgの連続制御を提案した。その結果、1ML-InNの面内被覆率を変化させた一連の1ML-InN/4ML-GaN SPSによる擬似InGaN混晶試料において、Egが連続的に制御できること、また擬似混晶のEgが、同じ実効In組成の3元InGaN混晶に対し小さくなることがわかった。

自由記述の分野

半導体工学

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公開日: 2018-03-22  

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