2016 年度研究成果報告書

切削加工によるニオブ酸リチウム細線光導波路の作製

研究課題

研究課題/領域番号	15K18055
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	電子デバイス・電子機器
研究機関	九州大学
研究代表者	多喜川良九州大学, システム情報科学研究院, 助教 (80706846)
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2017-03-31
キーワード	低損失光導波路 / ナノ・マイクロ加工 / 大気中異種材料低温接合 / 切削加工
研究成果の概要	大きな電気光学効果・非線形光学効果を有するニオブ酸リチウム（LNと略す）結晶で平滑な側壁を有する低損失な強い光閉じ込め導波路を実現するため、切削加工に着目した。これにより、平滑な垂直側壁加工(RMS:< 5nm)が可能となり直線・曲線光導波路作製に成功した。また、LN導波路をこれと熱膨張係数が一桁異なるSi上へ集積するため、高温プロセスを要しない大気中異種材料接合法の開発を行った。Siプラットフォーム上の強い光閉じ込めLN導波路型デバイスの実現に資するものとなる。
自由記述の分野	光マイクロマシン, 異種材料低温接合, 光集積デバイス