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電子デバイスや磁気記録の急激な発展に伴い、高誘電率、磁気―誘電、磁気―光学効果などの多機能性材料が必要とされている。ナノ複相膜は、セラミックス母相とナノ金属粒子との界面の面積が巨大なことから、多くの機能性が発現する。しかし、相互拡散し易い金属とセラミックス原子同士の場合には、ヘテロ界面に厚い原子拡散層が発生し、機能性発現の大きな障害となっている。本研究では、大きな磁気誘電効果や磁気光学効果などの発現を目指して、新しい開発した差動圧力スパッタ (DPS) 法を用いて酸化物と金属粒子界面拡散層を抑制することが成功した。これらの機能性は次世代センサや超高密度記録などへの応用化が大いに期待できる。
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