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光電極の反応安定性を向上させるべく、熱耐性の小さい光電極に、その特性を変化させることなく、化学安定性の高い金属酸化物を複合可能なエキシマレーザー照射法と酸素プラズマ法を融合した酸素ラジカルアシスト光誘起結晶化法を新規に開発した。本研究では、熱耐性の小さいCu2O光電極に、本手法によりTiO2を積層/結晶化した。酸素プラズマ内でTiO2前駆体膜にレーザー照射すると、酸素プラズマ内の活性酸素種により、酸素が十分に取り込まれた状態で前駆体膜が結晶化することで、酸素欠損の少ないTiO2膜が得られること、且つ、レーザー照射条件を適切にすることで、Cu2Oの変質を極力抑えられることを明らかにした。
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