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2016 年度 研究成果報告書

原子層薄膜ヘテロ接合界面のガスセンサー応用

研究課題

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研究課題/領域番号 15K21145
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 ナノマイクロシステム
電子・電気材料工学
研究機関大阪大学

研究代表者

田畑 博史  大阪大学, 工学研究科, 助教 (00462705)

研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2017-03-31
キーワードガスセンサー / 原子層薄膜 / グラフェン / 遷移金属ダイカルコゲナイド / ヘテロ接合 / ダイオード
研究成果の概要

本研究課題では、ガス分子の吸着が、原子層薄膜同士のvdWsヘテロ接合界面の電気伝導特性に及ぼす影響を調べ、このヘテロ接合界面を利用した、ガスセンシングに有用な新規機能の探索を行った。WSe2/MoS2ヘテロ構造を用いたpn接合デバイス、グラフェン/MoS2ヘテロ構造を用いたショットキー接合デバイスを作製し、NO2ガスに対するセンサー応答を調べた。WSe2/MoS2ヘテロ接合デバイスは、光照射下で光起電力型ガスセンサーとして動作すること、グラフェン/MoS2ヘテロ接合デバイスは、ショットキー障壁変調による巨大応答とその応答のバイアス電圧やゲート電圧による制御性を見出した。

自由記述の分野

ナノ材料物性、ナノ材料工学

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公開日: 2018-03-22   更新日: 2019-03-29  

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