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空気圧システムは安価、軽量などの利点があり、防爆性にも優れ安全性も高く、自動化機械・装置の駆動源として広く使用されている。本研究では、空気圧システムの高精度、高効率化を可能とする圧電素子を用いた新しい制御弁の開発を行っており、現在までに圧電素子の振動により空気管路内部の微粒子を励振させることで流量を調整する制御弁を開発している。本研究では、開発してきた制御弁を発展させ、小型で応答性の高い、流量比例制御弁の開発を目指し、ボルト締めランジュバン型振動子を用いた試作機を作製し、各パラメータの最適化を行った。
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