マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 16078206
• 研究種目: 特定領域研究
• 配分区分: 補助金
• 審査区分: 理工系
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 岩附 信行 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (70193753)
• 研究分担者: 森川 広一 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (00282830)
• 研究期間 (年度): 2004 – 2008
• キーワード: 圧電アクチュエータ / マイクロアクチュエータ / マイクロマシン / 知能機械 / 運動制御 / 群の制御 / 共振駆動

研究概要

実用的なマイクロ/ナノマシンに利用可能な人工のマイクロ繊毛アクチュエータ群の開発を目的とし, はんだ付け静電植毛法と電気ニッケルめっきによるチタン製内部電極群の配向整列接合, 水熱合成法による圧電セラミクス薄膜形成, マスキング利用真空蒸着法による選択的外部電極形成の主要製造プロセスを明らかにしてマイクロ繊毛アクチュエータ群の試作に成功し, 駆動実験を行って, アクチュエータの共振駆動ならびにマイクロ搬送機に適用し, 6mm四方の微小シートの搬送に成功した.

研究成果

• [雑誌論文] マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発 〜ニッケルめっき電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験〜 (2009)
  • 著者名/発表者名: 西田吉人, 岩附 信行, 森川広一
  • 雑誌名: 日本AEM学会誌 17-1 ページ: 2-7
  • 査読あり
• [雑誌論文] マイクロ繊毛アクチュエータ (2008)
  • 著者名/発表者名: 岩附信行
  • 雑誌名: トライボロジスト 53-2 ページ: 88-93
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Micro Cilium Actuators in Group with Nickel Plating and Sheet Conveyance Experiments (2008)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa, Yoshito Nishida
  • 雑誌名: Proc. of The 12th International Conference on Mechatronics Technology (CD-ROM) ページ: 1-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Micro Cilium Actuators in Group and Driving Experiments (2008)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Yoshito Nishida, Koichi Morikawa
  • 雑誌名: Proc. of The 11th International Conference on New Actuators ページ: 342-345
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro Cilium Actuators in Group (2008)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa
  • 雑誌名: The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs ページ: 93-96
• [雑誌論文] Fabrication of a Micro Cilium Actuator and Its Driving Experiments (2007)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa, Yoshito Nishida and Ryota Tanabe
  • 雑誌名: Proc. of 11th International Conference on Mechatronics Technology (CD-ROM) ページ: 1-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of Micro Ciliary Actuators in Group (2006)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Kenjiro Morita, Koichi Morikawa
  • 雑誌名: Proc. of The 10th International Conference on New Actuators ページ: 752-755
• [雑誌論文] Development of Micro Ciliary Actuators in Group (2006)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morita, Kenjiro Morita
  • 雑誌名: Proc. of the 1^<st> International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthrough ページ: 85-88
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータ群の静電植毛 (2009)
  • 著者名/発表者名: 前田全啓, 岩附信行, 森川広一
  • 学会等名: 2009年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 中央大学後楽園キャンパス
  • 年月日: 2009-03-11
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータ群 (2009)
  • 著者名/発表者名: 岩附信行
  • 学会等名: (社)日本工業技術振興協会スマート・アクチュエータセンサ委員会講演会
  • 発表場所: 東京工業大学田町キャンパスイノベーションセンター
  • 年月日: 2009-02-06
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究 (2008)
  • 著者名/発表者名: 岩附信行
  • 学会等名: 文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第5回公開シンポジウム
  • 発表場所: 東京大学武田先端知ビル
  • 年月日: 2008-12-09
• [学会発表] Fabrication of Micro Cilium Actuators in Group with Nickel Plating and Sheet Conveyance Experiments (2008)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa, Yoshito Nishida
  • 学会等名: The 12th International Conference on Mechatronics Technology
  • 発表場所: Radisson Hotel Sudbury
  • 年月日: 2008-10-14
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータの外周電極の分割形成と先端楕円軌道生成への試み, (2008)
  • 著者名/発表者名: 尾上知道, 岩附信行, 森川広一
  • 学会等名: 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 東北大学川内キャンパス
  • 年月日: 2008-09-18
• [学会発表] Fabrication of Micro Cilium Actuators in Group and Driving Experiments (2008)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Yoshito Nishida, Koichi Morikawa
  • 学会等名: The 11th International Conference on New Actuators
  • 発表場所: Bremen Convention Center
  • 年月日: 2008-06-11
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発〜ニッケルめっきに電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験〜 (2008)
  • 著者名/発表者名: 西田吉人, 岩附信行, 森川広一
  • 学会等名: 第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
  • 発表場所: 別府国際コンベンションセンター
  • 年月日: 2008-05-21
• [学会発表] Micro Cilium Actuators in Group (2008)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa
  • 学会等名: The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
  • 発表場所: APA hotel Tokyo-bay
  • 年月日: 2008-04-17
• [学会発表] Micro Cilium Actuators in Group (2007)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa
  • 学会等名: Proc. of The 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
  • 発表場所: Okinawa International Convention Center
  • 年月日: 2007-11-19
• [学会発表] Fabrication of a Micro Cilium Actuator and Its Driving Experimentc (2007)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa, Yoshito Nishida and Ryota Tanabe
  • 学会等名: 11th International Conference on Mechatronics Technology
  • 発表場所: Lotte Hotel Ulsan
  • 年月日: 2007-11-08
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータの作成と駆動実験 (2007)
  • 著者名/発表者名: 岩附信行, 森川広一, 西田吉人, 田辺龍太
  • 学会等名: 第13回日本IFToMM会議シンポジウム
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2007-07-12
• [学会発表] 圧電マイクロ繊毛アクチュエータの内部電極の接合 (2007)
  • 著者名/発表者名: 岩附信行, 森川広一, 田辺龍太, 西田吉人
  • 学会等名: 第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
  • 発表場所: 早稲田大学国際会議場
  • 年月日: 2007-05-17
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究 (2006)
  • 著者名/発表者名: 岩附信行, 森川広一
  • 学会等名: 文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第3回公開シンポジウム
  • 発表場所: 仙台国際センター
  • 年月日: 2006-12-18
• [学会発表] 水熱合成法によるマイクロ繊毛アクチュエータの圧電薄膜の形成 (2006)
  • 著者名/発表者名: 森田堅次郎, 岩附信行, 岡田昌史
  • 学会等名: 第12回日本IFToMM会議シンポジウム
  • 発表場所: 東京工業大学大岡山キャンパス
  • 年月日: 2006-06-30
• [学会発表] Development of Micro Ciliary Actuators in Group (2006)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Kenjiro Morita, Koichi Morikawa
  • 学会等名: The 10th International Conference on New Actuators
  • 発表場所: Bremen Convention Center
  • 年月日: 2006-06-15
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータの研究 (2006)
  • 著者名/発表者名: 岩附信行, 森川広一, 森田堅次郎
  • 学会等名: 第18回電磁力関連のダイナミクスシンポジウム
  • 発表場所: 神戸国際会館
  • 年月日: 2006-05-19
• [学会発表] Development of Micro Ciliary Actuators in Group (2006)
  • 著者名/発表者名: Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morita, Kenjiro Morita
  • 学会等名: 1st International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthrough
  • 発表場所: 幕張プリンスホテル
  • 年月日: 2006-04-20
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究 (2005)
  • 著者名/発表者名: 岩附信行, 森川広一
  • 学会等名: 文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第2回公開シンポジウム
  • 発表場所: 岡山大学創立50周年記念館
  • 年月日: 2005-12-02
• [学会発表] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究 (2005)
  • 著者名/発表者名: 岩附信行, 森川広一
  • 学会等名: 文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第1回公開シンポジウム
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2005-01-25
• [備考]
  • URL: http://www.dynamics.mep.titech.ac.jp/japanese/index.html
• [備考]
  • URL: http://yokota-www.pi.titech.ac.jp/index-A.html