• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2006 年度 実績報告書

単結晶SiCナノ構造薄膜層がナノサーフェスインテグリティーに及ぼす影響

研究課題

研究課題/領域番号 16206015
研究機関東京農工大学

研究代表者

古川 勇二  東京農工大学, 大学院技術経営研究科, 教授 (10087190)

研究分担者 笹原 弘之  東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 助教授 (00205882)
楊 明  首都大学東京, 大学院工学研究科, 教授 (90240142)
角田 陽  首都大学東京, システムデザイン学部, 助手 (60224359)
キーワードSiC / 薄膜層 / サーフェスインテグリティー / ナノ構造 / エピタキシ / MEMS / インデンテーション / YAGレーザ
研究概要

(1)MEMS/NEMS機能表面に適用する上で配慮すべきナノサーフェスインテグリティーに関する実験的評価と体系化
・SiC薄膜層およびSiCナノ構造層の形成方法の体系化
分子供給方法として、SiはEBガン、クヌードセン炉、ヘリコンスパッターの3種、CはアセチレンガスおよびEBガンの2種の供給方法を実現し、いずれか2つの組み合わせでもSiCの結晶成長が可能であることを実証したが、単結晶性が整ったSiCを得るには、アセチレンガス供給とSiをEBガンで飛ばし、先ず900℃程度でSi単結晶基板に炭化層を成長させてSiとSiC間の格子間隔を整合させ、その上にSiC単結晶をエピタキシャル成長させることが最適であることを解明した。
・SiC薄膜層およびSiCナノ構造層の化学組成
XPSを用いた分析により、ほぼ50%:50%のSiC単結晶が薄膜として形成できたことを確認した。この基本的電気特性については解明したが、半導体特性については別に電子物性の資料が公開されているので、それらを参照している。
(2)最適条件検索データファイルの作成
・SiC薄膜層およびSiCナノ構造層のMEMS/NEMS機能表面への適用目的に応じて、サブストレートである単結晶Siの具備すべき要件、SiC薄膜層のエピタキシ成長条件、および創成される表面のインテグリティーについてデータ整理した。
(3)研究の総合と最終報告書の作成
平成16,17,18年度の研究成果を総合し最終報告書に取り纏めた。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2006

すべて 雑誌論文 (3件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] UVレーザによる石英ガラスの加工2006

    • 著者名/発表者名
      古市卓也, 笹原弘之, 古川勇二
    • 雑誌名

      精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 2006-3

      ページ: 1223-1224

  • [雑誌論文] Single crystal SiC thinfilm produced by epitaxial growth and its application to micro-mechanical devices2006

    • 著者名/発表者名
      N.Moronuki, M.Kojima, A.Kakuta
    • 雑誌名

      Proc. 3rd International Conference on Technological Advances in Thin Films & Surface Coatings (CD-ROM形式)

  • [雑誌論文] Nanometer Deflection Control of AFM Probe by Irradiating Polarized Laser and its Application to Nano-Structuring Process2006

    • 著者名/発表者名
      D.Mezaki, K.Chuma, A.Kakuta, Y.Furukawa
    • 雑誌名

      Int. Conf. Precision Engineering Vol.11

      ページ: 203-207

  • [産業財産権] マイクロアクチュエーターシステム2006

    • 発明者名
      古川勇二, 中馬健一郎, 目崎大輔
    • 権利者名
      東京農工大学
    • 産業財産権番号
      特願2006-220513
    • 出願年月日
      2006-08-11
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より

URL: 

公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi