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2004 年度 実績報告書

高エネルギー白色SR平行マイクロビームの細束化と素子局所スペクトル分布像の可視化

研究課題

研究課題/領域番号 16360012
研究種目

基盤研究(B)

研究機関九州工業大学

研究代表者

近浦 吉則  九州工業大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40016168)

研究分担者 鈴木 芳文  九州工業大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (10206550)
キーワードシンクロトロン光 / マイクロビーム / 散乱トポグラフィ / 素子構造評価 / イメージング
研究概要

高い輝度の放射光の特性を利用した5μmΦのマイクロビームにより微小構造スペクトロスコピーを伴い、結晶内部の状態を高分解能可視化する散乱トポグラフ観察が可能となった。今年度は、3カ年計画初年度で、<マイクロホールコリメーター(MHC)のシミレーション>、<マイクロホールコリメーターの製作>、<SPring-8実験(SP-8-BL28ハッチにおいて、研究室で設計した21軸マルチチャンネルイメージンゴニオメータおよび関係の付属装置一式を使用)>、および、<単結晶素子の育成>を実施した。
まず最初に、MHCによってビームの微細化を達成できるか、種々のケースの計算機シミュレーションを行い、その予測を立てた。このシミレーションをもとに、マイクロビームの形成実験を成功裏に達成した。
さらに、結晶評価の新たなツールと成り得るマイクロビームを用いた結晶内部のペンデルビート現象の測定の試みを行った。動力学的回折理論によって導出される理論式より、試料の厚さを一定とし波長を変化させることで理論式中のWaller積分項が変化しペンデルビートを与える。これは白色SRマイクロビームを用い平板結晶と半導体検出器の位置関係を、それぞれブラッグ回折角θBとその二倍の2θBの状態のまま連続的に変化させることで測定できた。
測定の結果、直径5μmのマイクロビームから動力学的回折が生じ、波長変化に対応した積分強度のペンデルビート現象が明瞭に観察された。また散乱トポグラフィーで試料を観察した範囲において測定箇所を変えてエネルギーペンデルビート測定を行い、原子散乱因子の計測をした。ついで、ペンデルビートの各測定値を比較した結果、結晶の観察範囲において結晶構造の乱れの少ない状態であることを見出した。

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2004

すべて 雑誌論文 (2件)

  • [雑誌論文] Determination of the three-dimensional structure of dislocations in silicon by synchrotron white X-ray topography combined with a topo-tomographic technique2004

    • 著者名/発表者名
      川戸清爾, 太子敏則, 飯田敏, 鈴木芳文, 近浦吉則, 梶原堅太郎
    • 雑誌名

      Journal of Synchrotron Radiation Vol.11

      ページ: 304-308

  • [雑誌論文] Observation of Silicon Front Surface Topographs of a ULSI-Wafer by Synchrotron X-ray Plane Wave2004

    • 著者名/発表者名
      鈴木芳文, 塚崎祥充, 川戸清爾, 梶原堅太郎, 飯田敏, 近浦吉則
    • 雑誌名

      Journal of Applied.Physics Vol.96 No.12

      ページ: 6259-6261

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公開日: 2006-07-12   更新日: 2016-04-21  

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