研究課題
平成16年度ではマイクロ流路を実際に試作し、昨年度の平成17年度実施の「マイクロPTのソフトウェア開発」では、1)マイクロPT用感度マップの計算、および、2)マイクロPT用の高精度な逆問題解析手法のコード開発を行なった。今年度はそれを踏まえて、本学船橋校舎のマイクロデバイスセンターにて、4月から7月の間に、(1)マイクロ流路を実際に作製し、そのためのマスクアライナーとICPエッチング装置のレシピ(条件)を検討した。8月から11月の間に、(2)マイクロ流路への電極配置の実製作し、マイクロ流路製造のノウハウをマスターし、スパッタリングを用いて、MEMS技術により、マイクロ電極を作製した。12月から2月の間に、(3)流れのインピーダンス計測を行い、昨年度の実績のある画像再構成コードを、ナノ粒子流体に適用し、電極つきのマイクロ流路において、ナノ粒子とインピーダンスとの関係を測定した。そして、そのマイクロ流路内のナノ粒子濃度分布の可視化計測に成功した。以上の結果より、本研究において、実際にマイクロ流路にナノ粒子を流し、そのインピーダンスと濃度との関係が解明されたことにより、今後のマイクロ・エレクトロ・プロセス・トモグラフィーの産業への可能性を探ることができた。
すべて 2007 2006
すべて 雑誌論文 (6件)
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