| 研究課題/領域番号 |
16560615
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| 研究機関 | 大阪府立大学 |
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研究代表者 |
津久井 茂樹 大阪府立大学, 工学研究科, 助教授 (40207353)
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| 研究分担者 |
岡 喬 大阪府立大学, 産学官連携機構, 講師 (70090446)
足立 元明 大阪府立大学, 工学研究科, 教授 (40100177)
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| キーワード | 太陽エネルギー / 太陽電池薄膜 / 熱電素子薄膜 / ハイブリッド / 光と熱 |
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| 研究概要 |
平成17年度の研究目標は、(1)絶縁性薄膜/導電性薄膜の作製(担当:津久井、足立)と、(2)昨年度、実施できなかった熱電変換素子薄膜/絶縁性薄膜の作製(担当:津久井)、(3)熱電変換素子薄膜のパターンニング(担当:津久井)(4)それぞれの特性評価(担当:岡)を行い、最適な条件を求めることである。
平成17年度の研究実績は、絶縁性薄膜/導電性薄膜の積層化、熱電変換素子薄膜/絶縁性薄膜の積層化を行い、特性評価の計測により最適な作製条件を求めた結果、次の知見を得た。
1.絶縁性薄膜/導電性薄膜…導電性のITO基板上にSiO_2絶縁薄膜をRFプラズマスパッタリング法により作製し、その上にレーザーアブレーション法により導電性薄膜を積層化した結果、積層化にあたり問題のない抵抗値、および導電率を有する、平滑な積層薄膜を300℃以下の低温プロセス作製することに成功した。
2.熱電変換素子薄膜/絶縁性薄膜…(1)ターゲット作製条件とレーザーアブレーション法の製膜条件の最適化により、昨年度に作製困難であった、平滑な熱電素子薄膜の作製に成功した。(2)熱電変換薄膜上に絶縁薄膜をRFプラズマスパッタリング法により作製し、平滑で絶縁特性の高い絶縁性薄膜を作製することに成功した。
3.熱電変換素子薄膜のパターンニング…本年度は、熱電変換素子の平滑化と積層化に重点を置いたため、熱電変換素子薄膜のパターンニングは次年度に行う予定である。
4.特性評価…(1)太陽電池および熱電変換素子は、1ユニットセルでの特性を測定することができた。(2)積層化した絶縁性薄膜および導電性薄膜の特性評価を行うことができた。
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