| 研究概要 |
本研究では,構造が簡単で,可動部質量が小さい,容易に光路を90°変化可能,光の到達位置の微調整が容易といった特長をもち,光ディスクや光スイッチに利用できる新しい光路制御マイクロメカニズムを提案し,その有効性を検証することを目的としている.そのために本年度は,次のことを行った.
(1)提案する光制御マイクロメカニズムの詳細設計
数値解析を行い,提案する光制御マイクロメカニズムが原理のように動作可能な条件を求めた.その結果,厚さ3μmのTiNi薄膜反射ミラーとし,それを挟むように配置した基板間の距離を1mm,印加電圧を300Vとすると動作可能であることがわかった.
(2)光制御マイクロメカニズムの試作
上記(1)の結果を基礎に,現有のマイクロマシン作成装置を利用して光制御マイクロメカニズムの部品である基板と薄膜反射ミラーを作成した.これを本年度試作した観察・実験装置に組み込み,基板間の距離や薄膜反射ミラーの初期状態を調整した.
(3)試作光制御マイクロメカニズムの動作試験
試作した光制御マイクロメカニズムの動作試験を次の様に行った.
(A)1ステップの駆動周期48msで各電極への電圧を階段状に印加し,その動作をPSDと高速ビデオカメラを用いて測定した.その結果,試作光制御マイクロメカニズムが原理通りに動作することを確認できた.
(B)1ステップの駆動周期を8ms,4msと変えて応答特性を調べた.その結果,概ねステップ状に駆動されることを確認した.
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