| 研究概要 |
光の回折限界を超える光ディスク技術として注目されている近接場光記憶技術における、浮上スライダ方式の近接型光ヘッドのトラッキング方式について検討した。光スポットの形状が自由に選択できるという近接型光記憶の特性を利用したT形開口を用いたトラッキングエラー検出法を提案した。連続トラッキングエラー信号を得ることのできる方式として、サンプルサーボ方式のように記録マークをずらして配置する変わりに、T字型、あるいはL字型のように2つの長方形型開口を組み合わせた形の開口を読み取りに用いる方式を提案した。一方の長方形型開口はトラックのエッジに沿って移動し、そのためこの開口からの透過光はトラックずれに敏感に影響を受ける。もう一方の長方形型開口は円周方向に分解能を持ち記録データマークを再生する。検出される透過光はこれらの成分を加えたものになる。
フレキシブル光ヘッドスライダを用いて本トラッキングエラー検出法の評価実験を行った。収束イオンビーム(FIB)加工により導波路コア上に長辺が3um,短辺の幅が0.5umのT字型開口を作製した。回転系にはエアスピンドルを用い、テストROM媒体を透過した光をNA0.4の対物レンズにより集光し、光電子増倍管(PMT)により検出した。0.5umのドットパターンの再生信号を用いたオフラインでの解析において、0.3um/p-pの信号感度が得られた。本手法の基本的な有効性を確認することができた。
17年度には上記の研究の課程で副次的に得られた、フレキシブル光スライダの動的安定性に関する理論を、微小量の流体によるフレキシブルカンチレバーの振動をマイクロ静電発電機に発展的に応用するべく予備研究を行った。
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