| 研究実績の概要 |
2018年度，2019年度は，以下の研究を実施した．
（１）前年度までの検討において，規則性ポーラスアルミナの細孔壁にADLによってアルミナ薄膜を形成することでシングルナノスケールの細孔を有する高規則性ポーラスアルミナが得られることが確かめられた．ここでは，これまで検討を進めてきたアルミナのALDに加え，チタニアのALDについても新たに検討を行った．この結果，ADLによって，ポーラスアルミナ細孔壁にチタニア層の均一なコーティングが可能であり，細孔径が微細化できることが示された．以上の結果より，ALD法を用いれば，プリカーサーを変化させることによって様々な素材で極微細孔を有するナノホールアレーの形成が可能となることが確認された．
（２）Ti,Nb,Wの陽極酸化において，テクスチャリングプロセスの導入による高規則性ナノホールアレーの作製を検討した．あらかじめ，マスクを用いたドライエッチングによって地金の表面に規則的な窪みパターンの形成を行うと，Ti,Nb,Wを用いた陽極酸化においても規則的なホールアレー構造が形成できることが確認された．
（３）ポーラスアルミナを基盤材料として，シングルナノスケールの光の集光を実現するために，開口径がシングルナノサイズに微細化されたAgナノホールアレーおよびAg同軸ナノケーブルアレーの作製を行った．光学測定の結果，可視域における光伝搬がAgナノホールアレーでは観察されなかったのに対して，Ag同軸ナノケーブルアレーを用いた場合では明瞭な光伝搬が観察された．加えて，同軸ナノケーブルアレーを用いた光化学反応についても検討を行った結果，シングルナノサイズに制御された同軸構造の表面で光硬化性モノマーの光架橋反応が進行することを見出した．
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