研究課題
本年度の研究において、非対称断面構造を持つ導波管構造を採用することにより、大気圧長尺マイクロ波プラズマの生成をより容易にすることに成功したことを受け、本年度はO2プラズマを用いたレジストの高速アッシングに取り組んだ。その結果、100％O2プラズマあるいは10％CF4添加O2プラズマを用いることにより、レジストを最大で50ミクロン/分の世界トップレベルの高除去速度で除去することに成功した。さらに、プラズマからレジスト基板への距離によるアッシング速度の減少について検討をおこない、主な原因としてプラズマにおいて生成された酸素原子が気相中において再結合消滅することに起因するものであることを示した。また、CF4添加時のプラズマ発光分光計測により、酸素原子発光がCF4添加により数十倍増加することを確認し、CF4添加によりO原子生成が促進されていることを確認できた。また、マイクロ波プラズマの長尺均一化のメカニズムを明らかにするため、導波管内部のマイクロ波がスロット内に生成されるプラズマに斜め入射されるときのマイクロ波伝搬に関する検討をおこなった。その結果、斜め入射されたマイクロ波がプラズマ界面において屈折し、導波管に沿った方向に電磁波伝搬がおこなわれていることを確認した。この結果は、導波管方向に沿ったプラズマ密度の不均一を抑制する方向に働いているものと思われ、導波管内部における電磁界分布よりもプラズマ密度分布がはるかに均一になっている原因のひとつになっていると考えられる。
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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応用物理
巻: Vol.88No.2 ページ: pp.101-104
Japanese Journal of Applied Physics
巻: Vol.57No.6 ページ: pp.066201-1-4
巻: Vol.58No.SA ページ: pp.SAAC05-1-5
