| 研究課題/領域番号 |
16H04246
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
高谷 裕浩 大阪大学, 工学研究科, 教授 (70243178)
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| 研究分担者 |
水谷 康弘 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (40374152)
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| 研究協力者 |
高橋 一平
谷田 航大
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| キーワード | ３次元表面トポグラフィ / 光周波数コム / 散乱分光計 / レーザー逆散乱法 / フーリエ変換光学系 / 面計測 / ファイバレーザー / 加工計測 |
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| 研究成果の概要 |
本研究は，レーザー照射領域全体の三次元表面トポグラフィを散乱光強度分布から一度で求める面計測，すなわち先駆的なレーザー逆散乱法を格段に発展させることにより，独創的な光周波数コム散乱分光による広域・面計測法の確立を目的とする．そのため，独自の可視・広帯域化光周波数コム光源を設計・試作し，ピエゾ素子とペルチェ素子による制御性・安定性向上を確立した．さらに，高分解能分光計測データに基づいた新たな光周波数コム・レーザー逆散乱計測アルゴリズムおよびVIPAを利用した光周波数コム分光光学系を開発して，広帯域空間波長成分から構成される三次元表面トポグラフ計測法の基本原理を確立した．
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| 自由記述の分野 |
機械工学・生産工学・加工計測
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年，環境・エネルギー，情報通信，モビリティなどの多様な製造分野において，大型で超精密な自由曲面加工工程における大面積・三次元表面トポグラフィ測定評価への要求が急速に高まっている．本研究成果は，光周波数コム散乱分光解析に基づいた表面メトロロジーの新分野を切り拓き，さらに広域・表面分析手法への展開も期待されることから，計測学のみならず表面科学においても学術的意義は極めて高い．さらに，オンマシン／インプロセス測定への高い適用性と，世界的な標準であるISOとの高い整合性は製造現場への波及性も高く，広範な産業分野における表面加工精度の飛躍的向上に貢献できる点で，大きな産業的波及効果が期待できる．
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